MEMS器件具有体积小、重量轻、可实现柔性支撑、准确性高、灵敏度高、响应时间短...[详细内容]
导读:据ADI公司预测,先进、高性能的MEMS(微机电系统)加速计及陀螺仪将转换成各种不同的新型应用...[详细内容]
据新兴芯片技术领域的专家表示,可说是微机电系统(MEMS)的“小表弟”的奈米机电系统,虽然目前...[详细内容]
在搭载MEMS的趋势下,台湾供应链挟半导体产业发展优势,从IC设计、晶圆代工到封装测试,皆看到...[详细内容]
MEMS是Micro-Electronic-Mechanical-System的缩写,中文名称是微机电系统。是指特征尺度在微米量级,集微型传感器、微型执行器以及信号处理、控制及接口、通信、驱动一体的微型器件或系统...[详细内容]
国内MEMS在20世纪90年代初由清华大学等高校开始研究。目前有100个左右的研究小组从事本领域研究。2002年国家高科技计划启动了MEMS重大专项,投入2亿元人民币进行MEMS的研究和开发...[详细内容]
微飞行器是在20世纪80年代以来发展起来的,由于它体小、质轻、具有常规飞行器达不到的特有功能...[详细内容]
在空间应用方面,MEMS技术的突出优点对航天工业的技术进步有着重大的推动作用。由于航天技术...[详细内容]
智能微尘是一种能够以无线传输方式传递信息的微型电子机械传感器,它可以探测周围诸多...[详细内容]
MEMS最初研究主要是以军事应用为目的。因而,军事领域是MEMS技术最早的应用领域,如微型...[详细内容]
目前,根据NEXUS的市场研究,典型中级轿车包含50多个传感器,而豪华车装备100个以上的传感器,其中,大约1/3的传感器采用的是MEMS传感器。从全球范围看,用户对增强汽车安全性能的需求将推动MEMS传感器市场的持续增长...[详细内容]
当前,MEMS及其相关技术和产品已覆盖从检测、诊断到治疗等生物医学领域。它对促进医疗器械的改善,加速疾病的预防、诊断及治疗都有着重要的作用。在2002年,美国加州大学的科学家开发了一种由自旋蛋白质片段制成的可控纳米马达...[详细内容]
iPhone和Wii游戏机引入MEMS,为MEMS在消费电子市场上的发展开创了一个里程碑。市场调研公司Yole预测,到2012年,消费电子应用的销售额将占MEMS总市场的40%。而MEMS在消费电子的应用为MEMS的推广普及带来巨大推动力。具体包括如下方面...[详细内容]
随着信息时代的到来,通信和数据的传输存储处理在人类的生活中所占有的地位越来越重要。具有高功能密度比、小型化、多功能、低成本的通信终端、通信设备将是通信技术未来的主要发展方向。MEMS技术的发展为通信系统的小型化起到了巨大的作用...[详细内容]
一、材料方面:①硅材料仍是MEMS首选。原因:与微电子工艺兼容;靠沉积工艺控制电阻率;优良的压阻性能;容易氧化在表面形成二氧化硅层(绝缘层)。②MEMS突破了硅材料的传统半导体性质,大量应用其压电效应,进而应用其他...[详细内容]
目前MEMS常用构件、器件结构较为简单,一般为悬臂梁、薄膜、微管道等,但相对于传统机械系统仍有区别。(1)材料方面:微小尺度限制,微电子工艺限制,故主要是硅或工艺兼容的材料,取材不能广泛,且多采用沉积工艺制备...[详细内容]
美国哥伦比亚大学科学家近日成功研制出一种由DNA分子构成的“纳米蜘蛛”微型机器人...[详细内容]
如果能在1平方英寸上存储高达1TB的数据,这将会给便携式个人存储设备带来多大的革新...[详细内容]
英国BAE系统公司新开发出的“人造壁虎”材料,靠成功模仿壁虎足结构,让沿光滑表面的...[详细内容]
概念手机其实是设计师们无法实现的想法,但是他们并不是完全不靠谱,只不过目前...[详细内容]
根据MEMS发展的现状,人们对今后MEMS技术的发展进行了大量的预测,大多数专家认为的MEMS技术在今后的主要发展趋势综合如下:(1)研究方向多样化。从历次大型MEMS国际会议的论文来看,MEMS技术...[详细内容]
作为拥有巨大潜力的新兴学科,MEMS也曾经像互联网和纳米技术一样经历过发展的泡沫时期,也被人们给予了过多过早的幻想。首先要澄清的是,MEMS技术并非无所不能的,我们在承认它的技术潜力的同时...[详细内容]